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      產品信息
      • 產品名稱: 單晶爐
      • 上架時間: 2015-06-01
      • 瀏覽次數: 273

      單晶爐產品用途及技術參數
      短距離產品用途: 該系列單晶爐是采用直拉法生長單晶硅材料的專用設備。
      主要技術參數
      VDR1500單晶爐系列電源: 3相,380 V±10%,50HZ
      加熱器最大加熱功率:150~200 KVA
      加熱器最高加熱電壓:60 V
      冷爐極限真空度:3 Pa
      晶體直徑:Φ8"/φ 10"
      熔料量: 150 Kg
      主爐室尺寸:Φ1000×1400 mm
      副爐室尺寸:Φ350×2300 mm
      籽晶拉速范圍:0.2~8 mm/min
      籽晶快速范圍:≥300 mm/min
      籽晶轉速范圍:2~40 R/min
      坩堝升速范圍:0.02~1.0 mm/min
      坩堝快速范圍:≥100 mm/min
      坩堝轉速范圍:0.2~15 R/min
      籽晶提升有效行程:3100 mm
      坩堝升降有效行程:450 mm

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